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       CVD系统


      产品简介

       常规CVD系统由管式炉、流量混合器、真空体统三部分组成。改系统可以满足绝大部分气氛或真空环境下的小样品试验。每个部分都可以单独匹配成不同部件以满足不同的实验条件,如流量计可以选择浮子流量计或质量流量计,单通道或多通道,管式炉可以选择1200/1500/1700℃单温区或者多温区炉子。

       

      主要参数

      型号

      QJ1200-CVD60

      QJ1700-CVD60

      工作温度

      1100

      1600

      升温速率

      10/min

      10/min

      气体预热区

      200mm

      加热区长度

      200/440mm

      200/300mm

      恒温区长度

      100/220mm

      50/100mm

      管径

      50/6/80/100mm

      50/60/80mm

      控温方式

      30PID程序控温

      30PID程序控温

      真空泵

      机械泵/分子泵

      机械泵/分子泵

      真空度

      10-3Pa

      10-3Pa

      进气种类

      1~4

      1~4




       

    客 服 中 心
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